干凈室中的氣流速度規(guī)則 這里要討論的氣流速度是指干凈室內(nèi)的氣流速度，在其他干凈空間中的氣流速度在討論詳細(xì)設(shè)備時(shí)再闡明。 關(guān)于亂流干凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的水平，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下請(qǐng)求； (1)送風(fēng)口出口吻流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，請(qǐng)求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。 (2)吹過程度面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起外表微粒重返氣流，而形成再污染，這一速度普通不宜大干0.2m/s。 關(guān)于平行流干凈室《習(xí)氣上稱層流干凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用掃除行染，所以截面上的速度就是十分重要的指標(biāo)。過去都參考美國(guó)20gB規(guī)范，采用0.45m/s．但人們也都理解到這樣大速度所需求的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風(fēng)速的可行性。 在我國(guó)，《空氣干凈技術(shù)措施》和(干凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)）都是這樣規(guī)則的 垂直平行流（層流）干凈室≥0.25m/s 程度平行流（層流）干凈室≥0.35 m/s

這里有必要先闡明一下無窗干凈室的照明方式： (1)普通照明它指不思索特殊的部分需求，為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。 (2)部分照明這是指為增加某一指定地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由普通不單獨(dú)運(yùn)用部分照明。 (3)混合照明這是指工作面上的照度由普通照明和部分照明合成的照明，其中普通照明的照度按《干凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上承受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國(guó)外干凈室的強(qiáng)度請(qǐng)求極高，例如美國(guó)關(guān)于干凈室的幾個(gè)規(guī)范的請(qǐng)求是． 人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精密水平更高時(shí)，500x也是允許的。關(guān)于要紅燈照明的中央，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度普通為(25—501x)，用自然光時(shí)可允許更高的照度，因此對(duì)工作是有利的，所以今后干凈室的照明既采用人工光也采用自然光可能是有出路的，這也是為了節(jié)能而呈現(xiàn)的一種意向。 4、防靜電干凈室中由于靜電惹起的的事故屢有發(fā)作，因而干凈室的防靜電才能如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可無視的方面。

實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴(kuò)大比擬容易，在某些特殊用處場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，進(jìn)步干凈室等級(jí)。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之干凈度，常常須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間