在干凈無塵車間設(shè)計(jì)的應(yīng)用中，除了依據(jù)清潔度請求控制和凈化不同粒徑的塵粒外，菌落控制也是環(huán)境控制點(diǎn)之一，在微電子、光學(xué)、機(jī)械、儀器、生物醫(yī)藥，精密化工、食品飲料，涂布新資料等這些工業(yè)應(yīng)用的干凈無塵車間或?qū)嶒?yàn)室對菌落也有嚴(yán)厲的請求和規(guī)范。 在我們的日常生活中，菌落特別容易產(chǎn)生，很常見。依據(jù)文獻(xiàn)和實(shí)證測試研討，干凈無塵車間霉菌的構(gòu)成，普通需求相應(yīng)的濕度條件。干凈無塵車間設(shè)計(jì)能夠控制消費(fèi)環(huán)境，使溫濕度滿足消費(fèi)請求，防止運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)分產(chǎn)生一系統(tǒng)問題。通常，東鑫凈化工程設(shè)計(jì)裝修的GMP干凈無塵車間，普通較大濕度控制在70％以下，濕度設(shè)置的戒備線通常為60％。假如環(huán)境里，每天超越3小時(shí)的外表濕度到達(dá)60％-100％時(shí)，就有霉菌的風(fēng)險(xiǎn)。假如干凈無塵車間的外表濕度到達(dá)80％，每天超越12小時(shí)，持續(xù)3天，那么霉菌就可能到來。 目前，一些工程公司采用手動形式，來干凈無塵車間設(shè)計(jì)控制風(fēng)量微風(fēng)壓的調(diào)理溫濕度，但由于控制風(fēng)量微風(fēng)壓的控制閥在技藝艙內(nèi)，天花板也是彩鋼的軟屋頂，根本上功用是裝置和調(diào)試的。調(diào)整好后大局部未調(diào)整，實(shí)踐操作起來也特別費(fèi)事無法調(diào)整。為了使干凈無塵車間干凈室的正常消費(fèi)和工作，

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請求來肯定，但在滿足工藝請求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的請求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對溫度的請求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來越精密，所以對溫度動搖范圍的請求越來越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會惹起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

這里有必要先闡明一下無窗干凈室的照明方式： (1)普通照明它指不思索特殊的部分需求，為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。 (2)部分照明這是指為增加某一指定地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由普通不單獨(dú)運(yùn)用部分照明。 (3)混合照明這是指工作面上的照度由普通照明和部分照明合成的照明，其中普通照明的照度按《干凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上承受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國外干凈室的強(qiáng)度請求極高，例如美國關(guān)于干凈室的幾個(gè)規(guī)范的請求是． 人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精密水平更高時(shí)，500x也是允許的。關(guān)于要紅燈照明的中央，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度普通為(25—501x)，用自然光時(shí)可允許更高的照度，因此對工作是有利的，所以今后干凈室的照明既采用人工光也采用自然光可能是有出路的，這也是為了節(jié)能而呈現(xiàn)的一種意向。 4、防靜電干凈室中由于靜電惹起的的事故屢有發(fā)作，因而干凈室的防靜電才能如何已成為評價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可無視的方面。