超純水是一種用于半導體制作過程中的洗滌劑。那么,在半導體出產中運用超純水會有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導體時,假如在各種工藝前后留下一個小顆粒,則會導致差錯。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進步半導體出產率(輸出)。
超純水是為了研制超純資料(半導體原件資料、納米精密陶瓷資料等)運用蒸餾、去離子化、反滲透技能或其它適當的超臨界精密技能出產出來的水,不宜飲用。 這樣的水是一般工藝很難到達的程度,應該運用超純水設備進行制備。專業的超純水設備由預處理(多介質過濾+超濾設備)體系+反滲透體系+EDI電除鹽體系+拋光混床體系組成,保證出水水質滿足18.2MΩ·cm電子級水產水指標。
超純水設備成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都離不開超純水,只要水質純潔了,才能保證每一步的正常運轉。超純水設備為芯片制作保駕護航。傳統超純水制備工藝一般運用離子交換樹脂,但離子交換樹脂的運用一般需求定期的樹脂再生,這既耗費材料又耗費人力。超純水設備選用超純水設備選用反滲透工藝,或選用反滲透后離子交換混床、電去離子EDI工藝或拋光混床出產超純水,以保證出水水質符合職業標準,滿足芯片職業用水需求,成果英勇的“芯”。