在焚燒爐中加入貴金屬催化劑，將有機廢氣進行催化燃燒，發生氧化反應生產無毒害的水和二氧化碳，從而達到廢氣處理的效果，催化劑可以降低熱力燃燒反應所需的起燃溫度，節省廢氣治理工程的運行成本，相較于傳統的廢氣凈化技術，催化燃燒廢氣凈化更徹底，煤觸催化燃燒技術在反應的全程無明火，安全性更高，吸附有機物廢氣的活性炭床、用催化燃燒后的廢氣進行脫附再生，脫附后的氣體再送催化燃燒室進行凈化，不需要外部能量，運行費用低，節能效果顯著。

當這些氣體（雜質）碰到毛細管被吸附，起凈化作用，當活性炭再生到一定次數后，吸附容量明顯下降，則需要再生或更新活性炭，直接吸附法：有機廢氣經活性炭吸附，可達95%以上的凈化率，設備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運輸、更換等工作程序，導致運行費用增加，催化燃燒設備使用的是表面具有貴金屬或貴金屬氧化物的催化劑（通常是鉑、鈀等貴金屬化合物），可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。

常用的方法有吸附法、吸收法、燃燒法、冷凝法、生物法等，選用凈化方法時，應根據具體情況優先選用費用低、耗能少、無二次污染的方法，盡量做到化害為利，充分回收利用成分和余熱，該法特別適用于處理廢氣體積分數在10-2以下的有機蒸汽，主要應用于制藥、化工行業，印刷企業較少采用，吸附劑一般有以下特點：大的比表面、適宜的孔結構及表面結構；對吸附質有強烈的吸附能力；一般不與吸附質和介質發生化學反應；制造方便，容易再生；有良好的機械強度等。