潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負(fù)荷數(shù)萬(wàn)千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負(fù)荷；制冷機(jī)組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負(fù)荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設(shè)施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設(shè)備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)能耗高的原因: (1)凈化風(fēng)量大。不同凈化級(jí)別的潔凈室的風(fēng)量是同面積舒適空調(diào)的1.5倍。55倍，送風(fēng)壓力也是2-3倍，所以鼓風(fēng)機(jī)的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)新風(fēng)量大。一般情況下，新風(fēng)量等于排風(fēng)量和正壓漏風(fēng)量之和，所以生產(chǎn)過(guò)程排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量大。因此，新風(fēng)的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設(shè)備和工藝熱值高，連續(xù)二班或三班運(yùn)行。所以能耗也大。 ④潔凈室內(nèi)生產(chǎn)技術(shù)對(duì)溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴(yán)格。也是能耗高的原因。

潔凈室的空氣處理方式應(yīng)通過(guò)熱負(fù)荷、濕負(fù)荷、風(fēng)量平衡的計(jì)算和經(jīng)濟(jì)技術(shù)的比較得出，切忌生搬硬套。一般來(lái)說(shuō)，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量遠(yuǎn)大于新風(fēng)量，可以實(shí)現(xiàn)二次回風(fēng)，避免冷熱抵消，達(dá)到節(jié)能的目的。因此，應(yīng)采用二次回風(fēng)。二次回風(fēng)的過(guò)程可分為兩種方式:新風(fēng)承擔(dān)全部冷、熱、濕負(fù)荷，新風(fēng)和循環(huán)風(fēng)分別承擔(dān)冷、熱、濕負(fù)荷。冷、熱、濕總負(fù)荷相同，應(yīng)根據(jù)工程具體情況合理采用。對(duì)于室內(nèi)顯熱負(fù)荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風(fēng)溫度與室內(nèi)溫度的溫差較小，采用新風(fēng)空調(diào)加FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組)和干表面冷卻分擔(dān)冷熱負(fù)荷是節(jié)能的。