2潔凈室空調(diào)系統(tǒng) 一般潔凈室(包括工業(yè)潔凈室和生物潔凈室)可分為兩類: 一種是空調(diào)凈化系統(tǒng)的集中空氣處理和集中送風(fēng)方式。所有送至潔凈車間的空氣(即消除室內(nèi)余熱、濕度，維持室內(nèi)正壓，保證室內(nèi)潔凈度的所有送風(fēng)量)均由送風(fēng)管道進(jìn)行粗、中效過濾、降溫減濕或加熱加濕等凈化和熱濕處理，然后送至潔凈車間送風(fēng)口，經(jīng)過HEPA或UL。所有回風(fēng)通過集中回風(fēng)管道拉回空調(diào)機(jī)房與新風(fēng)混合后再次進(jìn)行一系列熱濕處理，如此往復(fù)循環(huán)。

潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負(fù)荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負(fù)荷；制冷機(jī)組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負(fù)荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設(shè)施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設(shè)備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)能耗高的原因: (1)凈化風(fēng)量大。不同凈化級(jí)別的潔凈室的風(fēng)量是同面積舒適空調(diào)的1.5倍。55倍，送風(fēng)壓力也是2-3倍，所以鼓風(fēng)機(jī)的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)新風(fēng)量大。一般情況下，新風(fēng)量等于排風(fēng)量和正壓漏風(fēng)量之和，所以生產(chǎn)過程排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量大。因此，新風(fēng)的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設(shè)備和工藝熱值高，連續(xù)二班或三班運(yùn)行。所以能耗也大。 ④潔凈室內(nèi)生產(chǎn)技術(shù)對(duì)溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴(yán)格。也是能耗高的原因。