根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...)，可以分為四種不同的送風系統(tǒng)。① DC供氣系統(tǒng)。 (2)回風供應系統(tǒng)。 (3)一、二次回風送風系統(tǒng)。 ④新風機組(MAU)和循環(huán)機組(RCU)送風系統(tǒng)。 其次是空調凈化系統(tǒng)中的空氣分離和送風方式。一種將送風與空調送風分開的方法，以消除室內余熱和濕度，潔凈送風，保證室內潔凈度水平。即消除室內余熱和濕度的空調送風量(約占總送風量的10% ~ 30%)在位于空調機房的空調機組(AHU)或新風機組(MAU)中進行熱濕處理，保證室內溫度和相對濕度，凈化送風量(占總送風量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環(huán)，保證室內潔凈度。

潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統(tǒng)的冷負荷是一般空調系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統(tǒng)的能耗

潔凈室空調凈化系統(tǒng)的能耗遠大于一般的舒適性空調。隨著凈化水平的提高，潔凈室的空調能耗也急劇增加。潔凈室空調系統(tǒng)主要能耗: (1)為了維持潔凈室所需的溫度和相對濕度，有必要對m線進行必要的熱濕處理(冷卻、除濕、加熱、加濕...)到潔凈室，所以需要向空調凈化系統(tǒng)和蒸汽供應制冷和制熱，消耗大量能源。 (2)為了保證潔凈室的潔凈度、溫度、濕度等參數(shù)，必須將大量的空氣送入潔凈室，送風的風機、供水的水泵等動力設備也消耗了相當大的能量。 (3)上述供冷、供熱、供汽所消耗的能源和送風、供水設備所消耗的電力。 (4)潔凈室冷負荷的主要負荷是新風冷負荷，它消除了工藝設備和工藝產(chǎn)生的冷負荷，抵消了風機和水泵產(chǎn)生的冷負荷，而圍護結構、照明和操作人員三者的冷負荷相對較小，有數(shù)據(jù)顯示其負荷不到高級別潔凈車間總冷負荷的10%。