對(duì)于高純氣體，微量水含量是評(píng)價(jià)其質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。幾乎所有的高純氣體都對(duì)水分有嚴(yán)格的要求，因?yàn)闅怏w的水分不僅能夠溶解一些氣體組分，而且能夠與某些組分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成酸或堿，腐蝕設(shè)備或儀器，乃至影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。因此，只有準(zhǔn)確測(cè)量和嚴(yán)格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質(zhì)量，從而為各領(lǐng)域研究提供可靠的技術(shù)基礎(chǔ)。 水分子是一種極性較強(qiáng)的分子，不僅容易被容器壁吸附，而且在氣體中的數(shù)量隨溫度和壓力不同變化很大，故氣體中水分的測(cè)定不同于一般組分的測(cè)定，它通常不能和其它組分一起同時(shí)檢測(cè)，所以要使用測(cè)定水分的專用儀器進(jìn)行測(cè)定

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——電解法 就是將干燥劑吸收的水分經(jīng)電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，通過檢測(cè)該電流即可測(cè)得樣氣的濕度。該方法彌補(bǔ)了重量法的缺點(diǎn)，測(cè)量量程可達(dá)-80℃以下，且精度較好，價(jià)格便宜;缺點(diǎn)是電解池氣路需要在使用前干燥很長(zhǎng)時(shí)間，且對(duì)氣體的腐蝕性及清潔性要求較高。

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測(cè)量方法。利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導(dǎo)致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測(cè)量該電容值即可得到樣氣的濕度。