對于高純氣體，微量水含量是評價其質量的重要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，因為氣體的水分不僅能夠溶解一些氣體組分，而且能夠與某些組分發生化學反應生成酸或堿，腐蝕設備或儀器，乃至影響最終產品的質量。因此，只有準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質量，從而為各領域研究提供可靠的技術基礎。 水分子是一種極性較強的分子，不僅容易被容器壁吸附，而且在氣體中的數量隨溫度和壓力不同變化很大，故氣體中水分的測定不同于一般組分的測定，它通常不能和其它組分一起同時檢測，所以要使用測定水分的專用儀器進行測定

用露點儀測量壓縮空氣露點時應注意什么？ 使用露點儀變送器測量空氣露點，特別是當測量的空氣含水量非常低時，操作應非常小心和耐心。氣體取樣設備和連接管道應干燥（至少比被測氣體干燥），管道連接應完全密封，氣體流量應按規定選擇，預處理時間應足夠長。一點點粗心會帶來很大的錯誤。 實驗表明，以五氧化二磷為電解液的“微水分儀”測量經冷干燥器處理的壓縮空氣的“壓力露點”存在較大誤差。這是由于試驗期間壓縮空氣的“二次電解”，導致讀數高于實際值。經冷干燥器處理的壓縮空氣的含水量約為1000ppm，超出儀器的測量范圍。因此，當測量經過冷干燥器處理的壓縮空氣的露點時，不應使用該儀器。

露點儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。