在高純氣體中，雜質水常用露點表示。露點是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現露或霜，測量此時的溫度，即為該氣體的露（霜）點。測量其露點溫度便可知氣體濕度值。 露點儀是采用此方法設計的濕度計，具有準確度高，測量范圍寬的特點。高精密露點儀是目前普遍采用的一種標準儀器。

“壓力露點”和“大氣露點”之間的關系是什么？ 壓力露點和大氣露點之間的對應關系與壓縮比有關，壓縮比通常用圖形表示。當“壓力露點”相同時，“壓縮”比越大，相應的大氣露點越低。例如，當0.7MPa壓縮空氣的露點為2℃時，大氣壓力的露點為-23℃。 當壓力增加到1.0MPa，相同壓力下的露點為2℃時，相應的大氣露點降低到-28℃。使用什么儀器測量壓縮空氣的露點？雖然壓力露點的單位是℃，但其表達的是壓縮空氣的含水量。所以測量露點實際上就是測量空氣中的水分含量。測量壓縮空氣露點的儀器有很多，如氮氣和乙醚等冷源的“鏡面露點計”，五氧化二磷和氯化鋰等電解質的“電解濕度計”等等。目前工業上廣泛采用專用氣體露點儀測量壓縮空氣露點，如國產TDW露點儀，測量范圍為-100℃。

露點儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。