在高純氣體中，雜質(zhì)水常用露點(diǎn)表示。露點(diǎn)是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時(shí)的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現(xiàn)露或霜，測量此時(shí)的溫度，即為該氣體的露（霜）點(diǎn)。測量其露點(diǎn)溫度便可知?dú)怏w濕度值。 露點(diǎn)儀是采用此方法設(shè)計(jì)的濕度計(jì)，具有準(zhǔn)確度高，測量范圍寬的特點(diǎn)。高精密露點(diǎn)儀是目前普遍采用的一種標(biāo)準(zhǔn)儀器。

露點(diǎn)儀的測量方法——振動頻率法 就是將重量法中的干燥劑換用一種吸濕性的石英晶體，根據(jù)該晶體吸收水分質(zhì)量不同時(shí)振動頻率不同的特點(diǎn)，讓樣氣和標(biāo)準(zhǔn)干燥氣流經(jīng)該晶體，因而產(chǎn)生不同的振動頻率差△f1和△f2，計(jì)算兩頻率之差即可得到樣氣的濕度。該方法具有電解法一樣的優(yōu)點(diǎn)，且使用前勿須干燥。

露點(diǎn)儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導(dǎo)致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。