在高純氣體中，雜質水常用露點表示。露點是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現露或霜，測量此時的溫度，即為該氣體的露（霜）點。測量其露點溫度便可知氣體濕度值。 露點儀是采用此方法設計的濕度計，具有準確度高，測量范圍寬的特點。高精密露點儀是目前普遍采用的一種標準儀器。

露點儀的測量方法——重量法 是一種經典的測量方法。讓所測樣氣流經某一干燥劑，其所含水分 ** 燥劑吸收，精確稱取干燥劑吸收的水分含量，與樣氣體積之比即為樣氣的濕度。該方法的優點是精度高，最大允許誤差可達0.1%;缺點是具體操作比較困難，尤其是必須得到足夠量的吸收水質量(一般不小于0.6克)，這對于低濕度氣體尤其困難，必須加大樣氣流量，結果會導致測量時間和誤差增大(測得的濕度不是瞬時值)。 因而該方法只適合于測量露點-32℃以上的氣體，可以說市場上純粹利用該方法測濕度的儀器較少。 由以上分析可知，重量法的關鍵是怎樣精確測量干燥劑吸收的水分含量，因為直接測量比較困難，由此衍生了兩種間接測量吸收水含量的方法。

露點儀的測量方法——冷鏡法 也是一種經典的測量方法。讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(冷凝鏡上有液滴析出)，測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃;缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生'偽結露'造成測量誤差。