在高純氣體中,雜質水常用露點表示。露點是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現露或霜,測量此時的溫度,即為該氣體的露(霜)點。測量其露點溫度便可知氣體濕度值。 露點儀是采用此方法設計的濕度計,具有準確度高,測量范圍寬的特點。高精密露點儀是目前普遍采用的一種標準儀器。
對于高純氣體,微量水含量是評價其質量的重要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求,因為氣體的水分不僅能夠溶解一些氣體組分,而且能夠與某些組分發生化學反應生成酸或堿,腐蝕設備或儀器,乃至影響最終產品的質量。因此,只有準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量,才能保證高純氣體的質量,從而為各領域研究提供可靠的技術基礎。 水分子是一種極性較強的分子,不僅容易被容器壁吸附,而且在氣體中的數量隨溫度和壓力不同變化很大,故氣體中水分的測定不同于一般組分的測定,它通常不能和其它組分一起同時檢測,所以要使用測定水分的專用儀器進行測定
露點儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒,表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜,其外鍍一層多空的網狀金膜,金膜與鋁棒之間形成電容,由于氧化鋁薄膜的吸水特性,導致電容值隨樣氣水分的多少而改變,測量該電容值即可得到樣氣的濕度。