目前市面上的露點(diǎn)儀大致可以分為以下幾類： 1、鏡面式露點(diǎn)儀 不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會(huì)結(jié)露。采用光電檢測(cè)技術(shù)，檢測(cè)出露層并測(cè)量結(jié)露時(shí)的溫度。 2、冷鏡式露點(diǎn)儀 直接顯示露點(diǎn)。鏡面制冷的方法有：半導(dǎo)體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點(diǎn)儀采用的是直接測(cè)量方法，在保證檢露準(zhǔn)確、鏡面制冷高效率和精密測(cè)量結(jié)露溫度前提下，該種露點(diǎn)儀可作為標(biāo)準(zhǔn)露點(diǎn)儀使用。目前國(guó)際上最高精度達(dá)到±0.1℃（露點(diǎn)溫度），一般精度可達(dá)到±0.5℃以內(nèi)。 3、電傳感器式露點(diǎn)儀 采用親水性材料或憎水性材料作為介質(zhì)，構(gòu)成電容或電阻，在含水份的氣體流經(jīng)后，介電常數(shù)或電導(dǎo)率發(fā)生相應(yīng)變化，測(cè)出當(dāng)時(shí)的電容值或電阻值，就能知道當(dāng)時(shí)的氣體水份含量。建立在露點(diǎn)單位制上設(shè)計(jì)的該類傳感器，構(gòu)成了電傳感器式露點(diǎn)分析儀。目前國(guó)際上最高精度達(dá)到±1.0℃（露點(diǎn)溫度），一般精度可達(dá)到±3℃以內(nèi)。

在高純氣體中，雜質(zhì)水常用露點(diǎn)表示。露點(diǎn)是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時(shí)的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測(cè)氣體中的水蒸氣開(kāi)始出現(xiàn)露或霜，測(cè)量此時(shí)的溫度，即為該氣體的露（霜）點(diǎn)。測(cè)量其露點(diǎn)溫度便可知?dú)怏w濕度值。 露點(diǎn)儀是采用此方法設(shè)計(jì)的濕度計(jì)，具有準(zhǔn)確度高，測(cè)量范圍寬的特點(diǎn)。高精密露點(diǎn)儀是目前普遍采用的一種標(biāo)準(zhǔn)儀器。

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測(cè)量方法。利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導(dǎo)致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測(cè)量該電容值即可得到樣氣的濕度。