6,應(yīng)變式壓力傳感器,應(yīng)變式壓力傳感器將壓力的變化轉(zhuǎn)化為電阻值的變化進行測量,應(yīng)變片是由金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體制成的電阻體,它的電阻值隨壓力作用在金屬導(dǎo)體上產(chǎn)生的應(yīng)變而變化,7、壓阻式壓力傳感器,壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)構(gòu)成的,當(dāng)壓力變化時,單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴散在其上的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化,然后相應(yīng)的電壓輸出信號由橋電路獲得,扭矩平衡式壓力變送器是一種典型的自平衡測量儀表。
2%,由于信號的遠程傳輸,所以在工業(yè)生產(chǎn)過程中可以實現(xiàn)自動壓力控制和報警,并且可以與工控機配合使用,它由壓力傳感器、測量電路和信號處理裝置組成,常用的信號處理器件有指示器、記錄儀、控制器、微處理器等,5、霍爾板壓力傳感器,霍爾板壓力傳感器是根據(jù)霍爾效應(yīng)制造的,即利用霍爾元件將壓力引起的彈性元件的位移轉(zhuǎn)化為霍爾電位,從而實現(xiàn)壓力的測量,采用單晶硅片作為彈性元件,在單晶硅膜上采用集成電路技術(shù),在單晶硅的特定方向上擴散一組等效電阻,并將電阻連接成電橋,將單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。
近年來,由于化工、石油等下游產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,壓力儀表行業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)和生產(chǎn)規(guī)模得到了快速發(fā)展,壓力儀表的種類也從機械式壓力測量儀表,到機械式、電子式壓力測量儀表,再到膜片密封、壓力校準設(shè)備,幾乎涵蓋了所有的壓力儀表和壓力測試設(shè)備,在早期,由于壓力儀表的核心技術(shù)掌握在國外廠家或國內(nèi)少數(shù)廠家手中,例如作為壓力變送器核心技術(shù)的壓力傳感器技術(shù)僅為少數(shù)廠家掌握,高端技術(shù)被國外廠家壟斷,這就極大地阻礙了我國壓力儀表的發(fā)展。