使用臭氧發生器制取臭氧的機器稱為臭氧消毒機，這里臭氧作為消毒劑使用。、企事業單位公共場所：企業污水處理、社區物業公司（合作）、影院、賓館、飯店、娛樂廳、發廊、美容院、公共浴池、療養院、醫院、無菌室、車站的候車廳、大小娛樂室、庫房和酒店、賓館的客房、博物館等單位、上門消毒服務。使用空氣消毒機種類比較多，原理也有很多種，有使用臭氧技術的，有使用紫外燈的，有使用過濾器的，有使用光催化的等等。

臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對霉菌也有極強的殺滅作用。O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。而傳統的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點?；瘜W熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。

臭氧消毒作為氯消毒的替代方法，在飲用水處理中被越來越多地應用。試驗表明，臭氧幾乎對所有細菌、病毒、真菌及原蟲、卵囊都具有明顯的滅活效果。缺點是：投資大，費用較氯化消毒高;水中O3不穩定，控制和檢測O3需一定的技術;消毒后對管道有腐蝕作用，故出廠水無剩余O3因此需要第二消毒劑;與鐵、錳、有機物等反應，可產生微絮凝，使水的濁度提高;臭氧氧化含有溴離子的原水時會產生溴酸根。溴酸根已被國際癌癥研究機構定為2B級潛在致癌物，WHO建議飲用水的最大溴酸根含量為25μg/L，美國環保局(USEPA)飲水標準中規定溴酸根的最高允許濃度為10μg/L。