在規(guī)劃實(shí)驗(yàn)室凈化工程干凈室時，需求留意的是實(shí)驗(yàn)室凈化工程干凈室位置選擇方面，要服從干凈等級的設(shè)計(jì)請求，應(yīng)選擇大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域和地段，要遠(yuǎn)離落葉和空氣異味的場所，（如河邊、食堂四周、動力區(qū)域等），還要盡量避開振動或噪聲干擾的區(qū)域。充沛理解和計(jì)算精密 設(shè)備、儀器、儀表等環(huán)境振動值對設(shè)備的影響，停止剖析權(quán)衡。實(shí)驗(yàn)室凈化工程干凈室的污染源，普通主要是大氣中含塵、含菌、塵粒和微生物以及實(shí)驗(yàn)人員的發(fā)塵、實(shí)驗(yàn)設(shè)備和實(shí)驗(yàn)操作過程中的產(chǎn)塵等。因而建筑圍護(hù)構(gòu)造質(zhì)量和建筑施工辦法對堅(jiān)持和進(jìn)步實(shí)驗(yàn)室凈化工程干凈室的規(guī)范具有重要意義。 實(shí)驗(yàn)室凈化工程干凈室的外面圍護(hù)構(gòu)造，如門窗、墻板、吊頂板、凈化器過濾器、電器燈具等方面要充沛思索其保溫、隔熱、防火、防潮、密閉性能好的請求，做到不產(chǎn)塵、無裂痕、可擦洗、耐濕潤，板縫平齊密封，壓縫條平直縫隙小。空中則力圖做到耐磨、耐沖擊、耐火、耐腐蝕性好，不易產(chǎn)生靜電，外表不易附著塵粒。

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請求來肯定，但在滿足工藝請求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的請求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對溫度的請求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來越精密，所以對溫度動搖范圍的請求越來越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時請求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴(kuò)大比擬容易，在某些特殊用處場所，可并用無塵工作臺，進(jìn)步干凈室等級。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之干凈度，常常須耗時相當(dāng)長一段時間