單向流干凈室 單向流干凈室普通有兩品種型，即程度流和垂直流。在程度流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向空中。對(duì)請(qǐng)求干凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場(chǎng)所，就運(yùn)用單向氣流。以前稱(chēng)這類(lèi)干凈室為“層流”干凈室。單向流和層流的稱(chēng)號(hào)均闡明了其氣流的情況：氣流以一個(gè)方向活動(dòng)（或是垂直的或是程度的），并以普通是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過(guò)整個(gè)空間。由滿(mǎn)布干凈室吊頂?shù)母咝н^(guò)濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個(gè)空氣活塞，向下流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從空中排出。又在與外部的一些新穎空氣混合后，再循環(huán)至高效過(guò)濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立刻被這種空氣肅清掉，而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒(méi)有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速，就能夠很快將污染物肅清。但在一個(gè)操作間，機(jī)器以及機(jī)器四周走動(dòng)的人員，會(huì)對(duì)氣流構(gòu)成障礙。障礙物能夠使單向流變成紊流，從而在障礙物四周構(gòu)成氣流團(tuán)。人員的活動(dòng)也能夠使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風(fēng)速較低，空氣稀釋水平較小，從而使得污染濃度較高。

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請(qǐng)求來(lái)肯定，但在滿(mǎn)足工藝請(qǐng)求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來(lái)越精密，所以對(duì)溫度動(dòng)搖范圍的請(qǐng)求越來(lái)越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線(xiàn)性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間溫度不宜超越25度，濕渡過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將經(jīng)過(guò)空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

這里有必要先闡明一下無(wú)窗干凈室的照明方式： (1)普通照明它指不思索特殊的部分需求，為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。 (2)部分照明這是指為增加某一指定地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由普通不單獨(dú)運(yùn)用部分照明。 (3)混合照明這是指工作面上的照度由普通照明和部分照明合成的照明，其中普通照明的照度按《干凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上承受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國(guó)外干凈室的強(qiáng)度請(qǐng)求極高，例如美國(guó)關(guān)于干凈室的幾個(gè)規(guī)范的請(qǐng)求是． 人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精密水平更高時(shí)，500x也是允許的。關(guān)于要紅燈照明的中央，如電子行業(yè)的光刻車(chē)間，其照度普通為(25—501x)，用自然光時(shí)可允許更高的照度，因此對(duì)工作是有利的，所以今后干凈室的照明既采用人工光也采用自然光可能是有出路的，這也是為了節(jié)能而呈現(xiàn)的一種意向。 4、防靜電干凈室中由于靜電惹起的的事故屢有發(fā)作，因而干凈室的防靜電才能如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可無(wú)視的方面。