單向流干凈室 單向流干凈室普通有兩品種型,即程度流和垂直流。在程度流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向空中。對請求干凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場所,就運(yùn)用單向氣流。以前稱這類干凈室為“層流”干凈室。單向流和層流的稱號均闡明了其氣流的情況:氣流以一個(gè)方向活動(dòng)(或是垂直的或是程度的),并以普通是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個(gè)空間。由滿布干凈室吊頂?shù)母咝н^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個(gè)空氣活塞,向下流經(jīng)室內(nèi),帶走污染物,然后從空中排出。又在與外部的一些新穎空氣混合后,再循環(huán)至高效過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立刻被這種空氣肅清掉,而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速,就能夠很快將污染物肅清。但在一個(gè)操作間,機(jī)器以及機(jī)器四周走動(dòng)的人員,會對氣流構(gòu)成障礙。障礙物能夠使單向流變成紊流,從而在障礙物四周構(gòu)成氣流團(tuán)。人員的活動(dòng)也能夠使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋水平較小,從而使得污染濃度較高。
干凈室中的氣流速度規(guī)則 這里要討論的氣流速度是指干凈室內(nèi)的氣流速度,在其他干凈空間中的氣流速度在討論詳細(xì)設(shè)備時(shí)再闡明。 關(guān)于亂流干凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的水平,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下請求; (1)送風(fēng)口出口吻流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,請求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。 (2)吹過程度面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起外表微粒重返氣流,而形成再污染,這一速度普通不宜大干0.2m/s。 關(guān)于平行流干凈室《習(xí)氣上稱層流干凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用掃除行染,所以截面上的速度就是十分重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB規(guī)范,采用0.45m/s.但人們也都理解到這樣大速度所需求的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風(fēng)速的可行性。 在我國,《空氣干凈技術(shù)措施》和(干凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn))都是這樣規(guī)則的 垂直平行流(層流)干凈室≥0.25m/s 程度平行流(層流)干凈室≥0.35 m/s
實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室,并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)建形成本低,干凈室的擴(kuò)大比擬容易,在某些特殊用處場所,可并用無塵工作臺,進(jìn)步干凈室等級。 缺陷:亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之干凈度,常常須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間