跟著半導體工業(yè)的不斷開展,對清潔水的電導率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴厲。由于超純水在許多指標上對半導體的要求很高,因而半導體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導體職業(yè)對超純水有極其嚴厲的水質(zhì)要求。現(xiàn)在,我國常用的超純水規(guī)范有國家規(guī)范《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標。 在半導體出產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會使n型硅反轉(zhuǎn),然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應充分考慮硼的去除。硼離美標中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達較低的指標,則必然會進步半導體的性能。
萊特萊德集裝箱式海水淡化設備選用超濾膜設備對海水進行預處理,然后把含有鹽類的海水經(jīng)過反滲透設備加壓,除掉海水中所含鹽、菌等有機物質(zhì),并進行殺菌處理。一起也能緩解偏遠地區(qū)居民對飲用水的需求。 超純水又稱UP水,是指電阻率到達18 MΩ*cm(25℃)的水。超純水現(xiàn)在首要運用于工業(yè)范疇和醫(yī)藥范疇,半導體、電子職業(yè)、醫(yī)藥職業(yè)、光學范疇都會用到超純水。除此之外,超純水能作為飲用水嗎? 超純水能喝,是真的?
半導體職業(yè)是一個高能耗的職業(yè)。在半導體產(chǎn)品制作過程中,由于出產(chǎn)設備的精密性和出產(chǎn)工藝的復雜性,對其配套設施提出了很高的要求,尤其對超純水體系的運用要求更高。 在半導體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需求進行化學處理,而化學處理又與超純水有關水中的雜質(zhì)會進入硅片,如帶入過量的雜質(zhì),就會導致器件功能下降、影響產(chǎn)品功能。因而,制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技能。