針對(duì)上述復(fù)雜圖譜，常規(guī)擬合方法較難取得好的擬合效果，而采用Avantage軟件中獨(dú)有的NLLSF擬合功能可得到較好的擬合結(jié)果，下面我們來講解一下如何進(jìn)行擬合，例如，對(duì)于此電容器樣品，要想進(jìn)行NLLFS擬合，我們需要獲得純Co(OH)2的窄掃參考譜圖，即沒有Ni(OH)2俄歇峰干擾的譜圖；Ni(OH)2在Co元素結(jié)合能范圍段（770~820ev）的俄歇參考譜圖，即不含Co(OH)2干擾的譜圖，如下圖2。

實(shí)用XPS定量分析方法可以概括為標(biāo)樣法、元素靈敏度因子法和一級(jí)原理模型，目前XPS定量分析多采用元素靈敏度因子法，該方法利用特定元素譜線強(qiáng)度作參考標(biāo)準(zhǔn)，測(cè)得其它元素相對(duì)譜線強(qiáng)度，求得各元素的相對(duì)含量，根據(jù)譜峰形狀，結(jié)合文獻(xiàn)對(duì)O1s進(jìn)行峰擬合，分別是530eV左右的ZnO晶格O的峰(OL)、531，XPS常用AlKα或者M(jìn)gKαX射線為激發(fā)源，能檢測(cè)周期表中除氫、氦以外的所有元素，一般檢測(cè)限為0。

當(dāng)用XPS測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí)，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢(shì)Vs，對(duì)電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測(cè)量的結(jié)合能偏離真實(shí)值，造成測(cè)試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對(duì)比來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。