C1s校正后，其他峰和標(biāo)準(zhǔn)峰峰位相差多少算合理？以及分峰的峰位相差在多少范圍內(nèi)合理？，答：有些峰會偏移的大一些，一般情況，峰位相差0，5eV以內(nèi)，如果相差過大，需要考慮是否是校正存在問題，XPS之所以無法檢測H、He，是因?yàn)椋?)H和He的光電離界面小，信號太弱；2)H1s電子很容易轉(zhuǎn)移，在大多數(shù)情況下會轉(zhuǎn)移到其他原子附近，檢測起來非常困難;3)H和He沒有內(nèi)層電子，其外層電子用于成鍵，H以原子核形式存在。

此外，EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態(tài)，且EDS的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態(tài)，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數(shù)據(jù)分析不大準(zhǔn)，答：不少人說XPS分析不準(zhǔn)，其實(shí)很多時候，不是儀器原因，而是我們的知識儲備影響著我們的判斷，與右邊標(biāo)準(zhǔn)譜圖對比，很右邊是衛(wèi)星峰，而左圖直接標(biāo)示為Ni(OH)2和NiO。

當(dāng)用XPS測量絕緣體或者半導(dǎo)體時，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測量的結(jié)合能偏離真實(shí)值，造成測試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。