電子探針射線(xiàn)顯微剖析和場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡有什么不同？各自?xún)?yōu)缺陷是什么？

簡(jiǎn)單說(shuō)說(shuō)，可能不標(biāo)準(zhǔn)。所謂的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是指，相較于傳統(tǒng)的鎢燈絲光源而言，其采用更了為先進(jìn)的肖脫基場(chǎng)發(fā)射光源。采用場(chǎng)發(fā)射光源后電子束能量更強(qiáng)，二次電子相（也就是我們平常所說(shuō)的掃描照片）愈加明晰，放大倍數(shù)在理想的狀況下能夠到達(dá)10萬(wàn)倍以上。同時(shí)，在停止EBSD的中也具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢(shì)。電子探針，即EPMA, 是一種元素成分的手腕，其根本原理是經(jīng)過(guò)激起物質(zhì)的本征X射線(xiàn)，獲取信號(hào)停止元素標(biāo)定的。

長(zhǎng)沙場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡檢測(cè)

單純的從功用上來(lái)講，電子探針能夠看做掃描電鏡的一個(gè)功用，即能譜成分（EDS，EDX）。在點(diǎn)掃的形式下，電子探針精度更高，同時(shí)打的點(diǎn)更小，更為精準(zhǔn)。假如是停止線(xiàn)掃、面掃，EPMA也會(huì)有相對(duì)的分辨率優(yōu)勢(shì)。值得指出的是，鎢燈絲/場(chǎng)發(fā)射兩種掃描電鏡在EDS/EDX上區(qū)別不大，場(chǎng)發(fā)射電鏡普通沒(méi)有明顯優(yōu)勢(shì)。當(dāng)然，這也要分離詳細(xì)的狀況停止剖析。或者說(shuō)：EPMA>場(chǎng)發(fā)射=鎢燈絲

總結(jié)一下，你要是想測(cè)定一小塊區(qū)域（這個(gè)大小還和操作人員有關(guān)）的準(zhǔn)確成分，能夠選用EPMA。這個(gè)設(shè)備普通也自配一個(gè)掃描電鏡（用于），但精度較低，沒(méi)有掃描電鏡其他功用（BSE、EBSD等）。