電子顯微鏡曾經(jīng)成為表征各種資料的有力工具。 它的多功用性和極高的空間分辨率使其成為許多應用中十分有價值的工具。 其中，兩種主要的電子顯微鏡是透射電子顯微鏡（TEM）和掃描電子顯微鏡（SEM）。 在這篇博客中，將扼要描繪他們的類似點和不同點。

掃描電鏡和透射電鏡的工作原理

從類似點開端, 這兩種設備都運用電子來獲取樣品的圖像。他們的主要組成局部是相同的;

· 電子源;

· 電磁和靜電透鏡控制電子束的外形和軌跡;

· 光闌。

一切這些組件都存在于高真空中。

南京透射電鏡定制

如今轉向這兩種設備的差別性。 掃描電鏡（SEM）運用一組特定的線圈以光柵款式掃描樣品并搜集散射的電子（ 細致理解SEM中檢測到的不同類型的電子 ）。

而透射電鏡（TEM）是運用透射電子，搜集透過樣品的電子。 因而，透射電鏡（TEM）提供了樣品的內(nèi)部構造，如晶體構造，形態(tài)和應力狀態(tài)信息，而掃描電鏡（SEM）則提供了樣品外表及其組成的信息。

而且，這兩種設備zui明顯的差異之一是它們能夠到達的zui佳空間分辨率; 掃描電鏡（SEM）的分辨率被限制在?0.5nm，而隨著zui近在球差校正透射電鏡（TEM）中的開展，曾經(jīng)報道了其空間分辨率以至小于50pm。

哪種電子顯微鏡技術zui合適操作員停止剖析？

這完整取決于操作員想要執(zhí)行的剖析類型。 例如，假如操作員想獲取樣品的外表信息，如粗糙度或污染物檢測，則應選擇掃描電鏡（SEM）。 另一方面，假如操作員想曉得樣品的晶體構造是什么，或者想尋覓可能存在的構造缺陷或雜質，那么運用透射電鏡（TEM）是*的辦法。

掃描電鏡（SEM）提供樣品外表的3D圖像，而透射電鏡（TEM）圖像是樣品的2D投影，這在某些狀況下使操作員對結果的解釋愈加艱難。

由于透射電子的請求，透射電鏡（TEM）的樣品必需十分薄，通常低于150nm，并且在需求高分辨率成像的狀況下，以至需求低于30nm，而關于掃描電鏡（SEM）成像，沒有這樣的特定請求。