在制造或使用高純氯氣時，如果管道沒有緊密密封或在維護過程中，則可能會暴露于氯氣中，氯是一種黃綠色刺激性氣體，比空氣重2，5倍，它會對呼吸道造成嚴重損害，并對眼睛的粘膜和皮膚有強烈刺激性，在使用高純氯氣過程中，需要加強安全教育，改善操作程序，定期檢查生產設備，防止操作，風險，滴漏和泄漏，并加強通風，運輸時要注意安全和個人防護，職前體檢，患有氣管或心臟和肺部疾病的人不應從事此類工作，高純氯氣廣泛用于化工，塑料等行業，在造紙和紡織工業中用作漂白劑。

高純氪氣是稀有氣體，無色、無味、無毒、惰性，氪氣集中存在于大氣中，在大氣中占有1，1ppm，沸點-153，35℃，大氣中氪的含量極低（痕量，按體積計為1，可以將高純氮氣運用在大規模集成電路和半導體原件的的制作上，為其提供氮氣源保護作用，還可以將高純氮氣運用在清洗、密封、置換、蒸發等工作中，充分利用高純氮氣的優勢，為高純潔凈環境空間提供氣體保護，高純氮氣甚至還可以運用在航天技術中，保障航天行業發展。

但空氣中氮含量的增加會導致氧氣稀釋，影響人們的正常呼吸，高濃度的氮會導致窒息，液氮與皮膚接觸可導致冷燒傷，吸入高濃度氮氣的患者應迅速轉移到空氣新鮮的地方，休息并保暖，當皮膚接觸到液氮時，立即用水清洗，如果出現寒戰，請就醫，冶金行業在發展過程中，使用高純氮氣保護加熱退火與熱處理等技術的發展都有著長足的進步空間，并對冶金加工業的生產起到了重要推動作用，由此可見，這些技術的發展為氮基氣氛熱處理指明了發展方向。