高純度氯化氫氣體具有很強的腐蝕性，因此設備在使用氯化氫后需要進行真空處理，如下:

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氯化氫氣體可以是聚四氟乙烯、聚氯乙烯聚合物、聚氯乙烯、聚乙烯、酚醛樹脂、天然橡膠、石墨等。所有設備、管道、閥門等。氯化氫在使用前應烘烤并抽真空，以保持無水和密封。

當設備暫時不使用時。應釋放氯化氫，并充入干燥的惰性氣體。如果漏氣，使用聚乙烯罩、尼龍軟管和其他漏氣部件。將氣體引入水中吸收，然后用熟石灰中和。泄漏時，用大量的水充分吸收。

當大量氣體噴出時，從遠處吸收噴霧狀的水。廢水被水吸收后，用燒堿、碳酸氫鈉、純堿、熟石灰等堿性物質中和。