蓄熱催化氧化是20世紀70年代REECO（Research-CotteII）推出了處置VOCs的蓄熱氧化安裝RTO（RegenerativTherOxi-dizers）,早期的RTOs采用馬鞍型陶瓷蓄熱體，熱回收效率僅有85%左右，后來又采用了TYPAK蓄熱體，將熱回收效率僅有85%左右，后來又采用了TYPAK蓄熱體，將熱回收效率進步到95%。

沒有氮氧化合物等二次污染物產生，在催化劑作用下被催化氧化成無毒、無害的H2O和CO2，并產生大量的熄滅熱，常見的廢氣管理有煙塵廢氣管理、粉塵廢氣管理、有機廢氣管理、廢氣異味管理、酸堿廢氣管理可燃氣體的排放，假如排放量較大，應盡可能選擇人少的中央，留意四周制止火，并備有相應的滅火器、砂子和水。

采用熄滅法處置時，應裝置減壓閥，控制可燃氣的速度，盡量使氣體漸漸放出，使之在熄滅安裝內充沛熄滅掉，處置毒性氣體時，工作人員必需戴防毒面具、手套等勞維護具與處置工作無關的人員，制止進入毒氣處置區，依據同性互相排擠、異性互相吸收的原理，帶電粒子狀涂覆介質在電場力的作用下，沿電力線定向流向帶正電荷的涂覆物體外表，堆積出一層平均、附著力強的薄膜。