在干凈無塵車間設(shè)計的應(yīng)用中,除了依據(jù)清潔度請求控制和凈化不同粒徑的塵粒外,菌落控制也是環(huán)境控制點之一,在微電子、光學(xué)、機械、儀器、生物醫(yī)藥,精密化工、食品飲料,涂布新資料等這些工業(yè)應(yīng)用的干凈無塵車間或?qū)嶒炇覍湟灿袊?yán)厲的請求和規(guī)范。 在我們的日常生活中,菌落特別容易產(chǎn)生,很常見。依據(jù)文獻和實證測試研討,干凈無塵車間霉菌的構(gòu)成,普通需求相應(yīng)的濕度條件。干凈無塵車間設(shè)計能夠控制消費環(huán)境,使溫濕度滿足消費請求,防止運轉(zhuǎn)的時分產(chǎn)生一系統(tǒng)問題。通常,東鑫凈化工程設(shè)計裝修的GMP干凈無塵車間,普通較大濕度控制在70%以下,濕度設(shè)置的戒備線通常為60%。假如環(huán)境里,每天超越3小時的外表濕度到達60%-100%時,就有霉菌的風(fēng)險。假如干凈無塵車間的外表濕度到達80%,每天超越12小時,持續(xù)3天,那么霉菌就可能到來。 目前,一些工程公司采用手動形式,來干凈無塵車間設(shè)計控制風(fēng)量微風(fēng)壓的調(diào)理溫濕度,但由于控制風(fēng)量微風(fēng)壓的控制閥在技藝艙內(nèi),天花板也是彩鋼的軟屋頂,根本上功用是裝置和調(diào)試的。調(diào)整好后大局部未調(diào)整,實踐操作起來也特別費事無法調(diào)整。為了使干凈無塵車間干凈室的正常消費和工作,
干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請求來肯定,但在滿足工藝請求的條件下,應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請求的進步,呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的請求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細工藝對溫度的請求以后還要羅列,但作為總的準(zhǔn)繩看,由于加工精度越來越精密,所以對溫度動搖范圍的請求越來越小。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超越25度,濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,假如發(fā)作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費最佳濕度范圍為35—45%。
實驗室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入干凈室,并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)建形成本低,干凈室的擴大比擬容易,在某些特殊用處場所,可并用無塵工作臺,進步干凈室等級。 缺陷:亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運轉(zhuǎn)再激活,欲達需求之干凈度,常常須耗時相當(dāng)長一段時間